Ο εξοπλισμός σειράς CMP που αναπτύχθηκε ανεξάρτητα από την LSTD προμηθεύει κατασκευαστές υλικών ημιαγωγών όπως SI, SIC, GAAS, LNP, GAN, CDTE, Diamond, κλπ. Ο εξοπλισμός ανακύκλωσης πλακιδίων έχει εισαγάγει πολλαπλές εταιρείες παραγωγής ημιαγωγών όπως το SMIC. Η αυτοματοποιημένη γραμμή παραγωγής για στίλβωση καρβιδίου πυριτίου θα παραδοθεί στο εργοστάσιο του πελάτη για δοκιμαστική παραγωγή στο Q {0}}.
Με βάση το αρχικό εργαστήριο, εκατομμύρια γιουάν θα επενδυθούν για την κατασκευή 100000 επιπέδων, 10000 επιπέδων και 100 επιπέδων καθαρού χώρου και εξοπλισμού δοκιμών ακριβείας, οι οποίοι θα επιθεωρηθούν και θα τεθούν σε χρήση το δεύτερο εξάμηνο του 2024.
6 "/8" Γραμμή στίλβωσης SIC SIC
6 "/8" Sic Wafer
Καθαρισμός Αίθουσας 100
Μηχανή καθαρισμού πολλαπλών επιπέδων
Ικανότητα επιθεώρησης
